Les destructeurs d'ozone de la série CAT-O3 décomposent en toute sécurité les fortes concentrations d'ozone gazeux pour les ramener à des niveaux inférieurs aux limites de sécurité recommandées pour l'ozone. La méthode catalytique de décomposition utilise un catalyseur à base d'oxyde métallique pour convertir passivement l'ozone en oxygène.
Les destructeurs d'ozone de la série CAT-O3 sont constitués d'un boîtier en acier inoxydable soudé, protégé par un bouclier thermique. Ils sont soigneusement conçus pour répondre aux exigences rigoureuses de l'industrie en matière de performances de sécurité
Caractéristiques
- Construction entièrement soudée
- Autonome
- Temps de réaction rapide
- Pas de consommables
- Pas de maintenance
- Installation simple
Semi-conducteur
- CVD TEOS/Ozone
- ALD
- MOCVD
- Cendres
- Bancs humides
- Outils de pulvérisation
- Autres
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