La série de capteurs OPTI-Sense est basée sur la technologie infrarouge non dispersif (NDIR). Ils sont conçus pour détecter avec précision
mesurer l'absorbance dans le spectre infrarouge des gaz spéciaux que l'on trouve généralement dans les applications de semi-conducteurs. Il s'agit de
très compact et conçu sans aucune pièce mobile, ce qui rend l'OPTI-Sense robuste et idéal pour la surveillance continue des gaz in situ des procédés de fabrication de semi-conducteurs.
Des diagnostics intégrés sont inclus dans le logiciel embarqué. Tous les capteurs OPTI-Sense sont configurés en analogique et en numérique
ce qui les rend faciles à intégrer dans n'importe quel processus.
Caractéristiques
- NDIR Infrarouge non dispersif
- Idéal pour tous les gaz absorbant l'infrarouge (SiF4, SiF3, CO, CO2, CF4, SF6, NF3, WF6 et autres espèces)
- Un temps de réponse rapide
- Haute sensibilité
- Espèces spécifiques
- Pas de consommables
- Pas de pièces mobiles
- Interface graphique du logiciel LabView (facultatif)
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