Système de régulation de gaz SCI-552

Le SCI-552 est un contrôleur de système pour les systèmes de distribution d'ozone qui fournit des interfaces de contrôle électronique pour un certain nombre de composants de système typiques, notamment : les générateurs d'ozone, les vannes EV, les contrôleurs de débit massique, les contrôleurs de contre-pression, les capteurs d'ozone Teledyne API 452, les capteurs d'ozone dissous Teledyne API 470 et un refroidisseur d'eau. Le SCI-552 est doté d'un support matériel et logiciel pour un certain nombre de fonctions de verrouillage du système. Le SCI-552 offre une grande souplesse à l'utilisateur final, en lui permettant de contrôler le système via l'interface utilisateur du panneau avant, l'interface série MODBUS ou divers points d'E/S numériques et analogiques discrets. Le SCI-552 est conçu pour prendre en charge deux générateurs d'ozone fournissant deux canaux indépendants de sortie d'ozone. Caractéristiques - Assistance à distance MODBUS RS-232 - Contrôlez jusqu'à 2 générateurs d'ozone - Interface avec jusqu'à 2 capteurs d'ozone modèle 452 et modèle 470 - Contrôlez jusqu'à 4 régulateurs de débit massique - Contrôlez jusqu'à 2 contrôleurs de contre-pression - Contrôlez jusqu'à 2 vannes EV - Contrôler un refroidisseur d'eau - Entrées du système de verrouillage - Contrôles à distance au niveau du système et E/S d'état Demandes Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) - Dépôt de couches atomiques (ALD) - Croissance des oxydes - Conditionnement des surfaces - Ashing - Nettoyage des particules - Retrait des photoréserves - Autres