Le modèle 470 est un capteur d'ozone dissous de pointe conçu pour les outils de banc humide à semi-conducteurs et de nombreux autres procédés industriels. Il permet de mesurer en continu l'ozone dissous dans l'eau déionisée ou dans les bains sulfuriques avec des concentrations allant jusqu'à 150 mg/L. Le modèle 470 est "prêt pour la propreté" pour les procédés de semi-conducteurs de haute pureté, et est conçu pour être simplement raccordé en ligne dans la boucle de recirculation de tout outil de banc humide avec des débits allant jusqu'à 150 SLPM
Le capteur modèle 470 intègre une technologie innovante de détection d'échantillons à double trajet optique pour offrir des performances inégalées et éliminer pratiquement le besoin d'une mesure de liquide de référence
Une installation typique se compose du capteur 470 et d'un câble d'interconnexion à gaine en téflon 7. Le capteur 470 permet de signaler à distance la concentration mesurée par des signaux analogiques ou numériques à la console du banc humide
Caractéristiques
- Suivi in situ
- Une capacité en ligne et à plein régime
- Voie d'écoulement directe
- Pas de pièces mobiles
- Pas de consommables
- Fourchettes jusqu'à 150 mg/L
- Calibrage du zéro à distance
- Méthode d'absorption des UV de haute précision
- Technique de détection d'échantillons à double trajet optique
- Aucun entretien régulier n'est requis
- Matériaux mouillés de qualité semi-conducteur
- Boîtier compact FRPP
- Câble d'interconnexion à gaine en Téflon7
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