Système de surveillance d'humidité EddyCus TF inline HF

pour revêtement

EddyCus TF inline HF / Tool integrated - Solution de surveillance en ligne sans contact de l'épaisseur des revêtements humides et de l'humidité résiduelle La série HF utilise des champs électromagnétiques haute fréquence (HF) qui interagissent avec les couches en utilisant différents effets. Ces systèmes sont utilisés pour analyser les propriétés diélectriques et électriques. Les applications comprennent les mesures telles que l'humidité résiduelle et les épaisseurs de couche des revêtements humides. Les procédés comprennent la pulvérisation, le revêtement par filière à fente, le revêtement par rideau et bien d'autres procédés de dépôt humide. En outre, les processus de séchage et de calandrage peuvent être contrôlés. Paramètre de test - Humidité résiduelle - Composition du matériau (éléments conducteurs, diélectriques ou magnétiques) - Épaisseur du revêtement humide