Système de micro-positionnement sous haut vide MP105-3 series

3 axesXYZpiézo

Micropositionneur rapide et précis - HV / UHV / EUV, course de 20 à 50 mm, répétabilité de 0,2 µm, charge de 1 kg - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV - Liquide de lubrification jusqu'à 10E-8 / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Max. Température d'étuvage : 120°C Configurable en option : - Disponible en version magnétique, faiblement magnétique et sans aimant - Différentes variantes de moteurs : Moteur piézo ou nanomotion - En option, avec système de mesure haute résolution pour une répétabilité jusqu'à 0,005 µm - Peut être combiné avec des tables rotatives pour les applications rotatives - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec contrôleur FMC400/450 Manipulateur XYZ miniaturisé pour des applications de haute précision ou dynamiques Le manipulateur est un système 3 axes hautement dynamique pour les mouvements X, Y et Z dans un espace d'installation très limité. Des courses jusqu'à 50 mm sont réalisées. Le manipulateur est équipé de moteurs piézoélectriques et peut ainsi réaliser des incréments de positionnement de quelques nanomètres pour des applications de haute précision dans le vide poussé et l'ultra-vide. Équipé en option d'un nanomouvement, il est particulièrement adapté à un positionnement hautement dynamique et de haute précision. Domaines d'application Positionnement de précision dans des espaces très réduits pour les applications de laboratoire, la microscopie et la technologie des semi-conducteurs, la recherche sous ultravide et sous rayonnement ultraviolet extrême, la préparation d'échantillons, le balayage d'échantillons, la manipulation d'échantillons, le réglage de caméras, le réglage de capteurs, la recherche sur les matériaux, l'analyse des matériaux, les lignes de faisceaux, les accélérateurs, les synchrotrons, la miniaturisation