Platine XY KT500-EDLM

à moteur linéaire2 axesde haute précision

Plat, précis et rapide La KT500 n'impressionne pas seulement par son design très plat et compact. Grâce à sa course de 350 mm, même les substrats et les pièces de grande taille peuvent être scannés sur toute leur surface. Il est conçu de telle sorte que tous les paramètres du processus peuvent être répétés avec exactitude et que l'on obtient des performances comparables à celles des systèmes à coussin d'air. Grâce à une interface de câble qui peut être déconnectée par un connecteur, une installation simple et un fonctionnement sans entretien jusqu'à 500 000 courses complètes sont possibles. Système XY hautement dynamique avec une longue durée de vie - Répétabilité de haute précision jusqu'à 0,3 µm - Gain de temps en opération start-stop grâce à des vitesses maximales jusqu'à 300 mm/s et une accélération de 1G - Fonctionnement sans entretien jusqu'à 500 000 courses complètes, après quoi seule une simple relubrification est nécessaire - Durée de vie jusqu'à deux millions de courses complètes - Disponible avec jusqu'à deux moteurs linéaires électrodynamiques par direction : 2+2 moteurs pour des résultats de balayage particulièrement rapides, 2+1 moteurs pour une dynamique égale Domaines d'application Applications de balayage rapide et déplacement dynamique de la bande, par exemple, inspection des semi-conducteurs, systèmes de mesure, inspection optique automatique (AOI), dispositifs de mesure, mesure différentielle, remplacement des systèmes de paliers à air