Platine linéaire LA80 series

motorisée1 axede haute précision

Etage linéaire à haute vitesse HV / UHV / EUV, course 200 -500 mm, répétabilité 0,4 µm, charge 5 kg - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Liquide de lubrification jusqu'à 10E-8 / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Durée de vie dans la gamme kilométrique malgré la lubrification sèche - Max. Température d'étuvage : 120°C - Disponible en version magnétique Configurable en option : - Au choix avec ou sans système de mesure - Sélection des matériaux et lubrification sous vide adaptée à l'application - Peut être combiné à un système de transfert rapide XYZ (par exemple LA90, LA95, LA170) - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Versions pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Longue durée de vie malgré un fonctionnement à sec Cet axe linéaire est utilisé comme un composant puissant pour les systèmes multi-axes et pour les systèmes de transfert hautement dynamiques. Il permet un positionnement rapide avec une résolution extrêmement élevée dans l'ultravide, même dans le sens vertical. Une vis à billes assure une grande rigidité et une stabilité à l'arrêt à grande vitesse. Le système ne nécessite pas de lubrifiants liquides et offre une durée de vie de plusieurs kilomètres. Domaines d'application Systèmes de transfert de haute précision dans l'ultravide sous rayonnement ultraviolet extrême, fabrication de semi-conducteurs, mise en forme de faisceaux pour les processus d'exposition, analyse de surface et positionnement de capteurs, spectrométrie de masse, processus de revêtement d'OLED, mesure de l'épaisseur et de la vitesse des couches, revêtement de surface (pulvérisation, dépôt en phase vapeur), sorties de faisceaux, montages expérimentaux, réseaux de capteurs pour l'étude d'échantillons proches de leur état natif