Platine compatible vide LA92-40-LM-L

linéairemotorisée1 axe

Axe linéaire à grande vitesse HV / UHV / EUV, course de 40 mm, répétabilité de 0,4 µm, charge jusqu'à 2 kg Vide : toutes les zones HV / UHV jusqu'à 10E-11 mbar Lubrification liquide jusqu'à 10E-8 / sèche jusqu'à 10E-11 mbar Max. Température d'étuvage : 120°C Configurable en option : - Versions magnétiques, faiblement magnétiques et sans aimant disponibles - Sélection des matériaux et lubrification sous vide adaptées à l'application - Peut être combiné à un système de transfert rapide XYZ (par exemple LA90, LA95, LA170) - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Positionnement horizontal et vertical rapide en UHV L'axe linéaire est principalement utilisé pour le balayage des échantillons. Il permet un positionnement rapide avec une résolution extrêmement élevée dans l'ultravide, également dans le sens vertical. Il a une conception très étroite avec des moteurs internes. Domaines d'application Applications de balayage rapide et haute résolution, micro-assemblage, technologie des semi-conducteurs dans l'ultravide, chambres à vide, recherche, instrumentation des lignes de faisceaux, assemblage et inspection de l'électronique.