Platine de nanopositionnement compatible vide LA97 series

linéairepiézoélectrique1 axe

LA97 - Stations et axes linéaires à vide Etage linéaire nanométrique HV / UHV jusqu'à 10E-11, course 100 - 300 mm, répétabilité 0.02 µm, charge jusqu'à 10 kg - Vide : toutes les zones HV / UHV jusqu'à 10E-11 mbar - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 mbar / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Température max. Température d'étuvage : 120°C Configurable en option : - Versions magnétiques, faiblement magnétiques et sans aimant disponibles - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Positionnement nanométrique horizontal et vertical Cet axe linéaire à vide est adapté à toutes les gammes HV / UHV jusqu'à 10-11mbar. Il est universellement applicable, car il peut également être utilisé pour des tâches de positionnement vertical. Il atteint des résolutions extrêmement élevées et une rigidité maximale dans le vide. En fonction de la charge à déplacer, 2 à 6 moteurs peuvent être utilisés dans une disposition en pince. Domaines d'application Applications de balayage de haute précision, micro-assemblage, technologie des semi-conducteurs dans l'ultravide et sous rayonnement ultraviolet, chambres à vide, recherche, instrumentation des lignes de faisceaux, assemblage et inspection de l'électronique