Système de positionnement XYZ 782300:199.26

4 axeslinéairepour l'inspection de Wafer et métrologie

Système d'inspection XYZ Phi adapté aux wafers de 12 pouces, aux cartes de circuits imprimés (salle blanche ISO 2) - Inspection et microscopie Portique universel 4 axes en granit avec boîtier pour salle blanche Ce système de positionnement XYZ Phi peut être utilisé pour divers processus de test et d'inspection dans la fabrication de semi-conducteurs et d'électronique jusqu'à la classe de salle blanche ISO 2. Grâce à la conception des déplacements jusqu'à 320 x 320 mm en XY, il convient à toutes les tailles de wafers standard jusqu'à 12 pouces. Les échantillons sont manipulés avec une grande précision vers un laser, un capteur ou une caméra dans l'axe Z en utilisant la platine mécanique KT405-320-EDLM entraînée par un moteur linéaire. Le capteur ou la caméra est ajusté en mouvement vertical (maximum 50 mm) avec la platine de mesure de précision PMT160-050-DC-R/L, qui peut être complétée en option par une unité de pivotement . Des tests de haute précision dans des salles blanches exigeantes - Idéal pour les processus de test et d'inspection exigeants dans la technologie des semi-conducteurs, la biotechnologie et l'industrie pharmaceutique - Adaptation rapide aux différentes tâches de mesure et de test - Mesure de haute précision avec une répétabilité jusqu'à 0,3 µm à des vitesses élevées jusqu'à 100 mm/s - Concept de sécurité avec couvercle de protection - Sans émission jusqu'à la salle blanche ISO classe 2 - Livraison du système avec base en granit sur amortisseurs, cadre en acier y compris la commande complète avec capot de protection et boîtier peint Extensible en option : - Versions ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Bras pivotant pour capteur avec axe rotatif DT200 - Plaque de base en granit ou en aluminium - Autres déplacements et échantillons différents - Adaptable pour l'intégration dans des processus automatisés - Utilisation immédiate avec un contrôleur pré-configuré, y compris un logiciel exemplaire