Système de positionnement mono-axe 782424:005.26

linéairerotatifpour l'inspection de Wafer et métrologie

Système de positionnement X Phi pour l'inspection de wafers, d'échantillons biologiques (salle blanche ISO 5) | axe rotatif et platine linéaire - Inspection et Mikroscopie Positionnement linéaire-rotatif de haute précision Ce système X Phi permet de positionner des échantillons (par exemple des wafers, des échantillons biologiques) selon un angle défini avec précision par rapport au capteur ou à la caméra. Il se compose d'un axe X linéaire, de la platine linéaire standard précise PMT160 avec vis à billes, et d'une unité rotative intégrée à course illimitée, entraînée par des courroies plates.Pour convenir aux salles blanches, les guides-câbles du système de mesure centré et de l'unité rotative mobile ont été logés dans l'enceinte du système linéaire. Des soufflets isolent le système de l'extérieur pour éviter l'émission de particules. Système de positionnement sans entretien pour les salles blanches - Idéal pour les tâches d'inspection dans la technologie des semi-conducteurs, la biotechnologie et l'industrie pharmaceutique - Mesure de haute précision avec une répétabilité jusqu'à 0,3 µm - L'excellente planéité de la platine linéaire permet une mesure de haute précision de l'épaisseur du revêtement avec un seul capteur - Réduction de l'émission de particules à la classe ISO 5 grâce au boîtier et au soufflet - Fonctionnement industriel continu sans entretien et remplacement simple du système sur la plaque de base Extensible en option : - Autres versions pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Plaque de base en granit ou en aluminium - Moteurs spéciaux hermétiques avec homologation pharmaceutique - Versions pour conditions environnementales extrêmes, par ex. radiation, vide - Extensible à l'application complète spécifique du client - Utilisation immédiate avec un contrôleur préconfiguré et un logiciel exemplaire