Système de positionnement XYZ 782300:265.26

linéairepour l'inspection de Wafer et métrologiepour l'industrie des semi-conducteurs

Mesure optique sans contact très stable. Cette combinaison XY dispose d'une unité verticale Z séparée pour monter un microscope, une caméra ou un capteur personnalisé. La platine transversale KT310 avec moteur pas à pas sur la plaque de granit déplace la plaquette à inspecter vers le microscope avec une grande précision et permet une imagerie stable et haute résolution. Son concept avec moteurs internes, guides à rouleaux croisés et vis à billes de haute précision permet une précision exceptionnelle avec une utilisation optimale de l'espace d'installation Analyse de haute précision des plus petits détails - Idéal pour l'inspection optique des wafers, des cartes de circuits imprimés et des cartes de sonde - Facilement adaptable à divers microscopes, caméras ou capteurs personnalisés - Inspection de surface de haute précision de wafers jusqu'à 200 x 200 mm - Faible maintenance et rapport qualité-prix optimisé grâce à l'entraînement par moteur pas à pas Extensions en option : - Autres courses et longueurs - Avec/sans cadre et plaque de base en granit ou en aluminium - Versions ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande), par exemple avec boîtier et avec système d'évacuation - Solutions individuelles pour le passage des câbles - Découplage adapté des vibrations au moyen d'une couche de caoutchouc amortissant ou d'amortisseurs pneumatiques - Intégration dans l'application globale spécifique au client