Système de positionnement XYZ 782300:193.26

linéairepour l'inspection de Wafer et métrologiepour le contrôle qualité

Système XYZ pour l'inspection et le contrôle de la qualité | Moteur DC XY, rouleau croisé| Moteur DC Z, vis à billes, système de mesure linéaire Inspection de haute précision avec un taux d'erreur minimal Le système de positionnement permet le positionnement le long de trois axes linéaires. Dans cette unité, une platine linéaire PMT160 est montée sur une table croisée KT470 avec un support d'adaptation. Elle permet d'obtenir de faibles erreurs de faux-rond, en termes de rectitude et de planéité, qui sont obtenues en utilisant des rouleaux croisés. Il en résulte une répétabilité supérieure à la moyenne, qui est la base d'une bonne compensation. Cela permet une précision extrêmement élevée pour les applications de mesure. Idéal pour le contrôle de la qualité optique - Précision de battement et répétabilité très élevées jusqu'à 0,3 µm - Positionnement de charges jusqu'à 150 N avec un entraînement rentable - Vitesses élevées jusqu'à 50 mm/s - Réduction des erreurs aléatoires à un minimum - Intégration facile et combinaison flexible avec les systèmes de caméras et les capteurs existants Extensible en option : - Différentes courses dans l'axe Z de 50 à 300 mm - Différentes variantes de moteurs : Moteur à courant continu ou moteur pas à pas - Utilisation immédiate avec un contrôleur préconfiguré et un logiciel exemplaire - Versions pour salle blanche ISO 14644-1