X Système Phi pour le positionnement de lentilles optiques, de cylindres, par exemple un calibre de stylet | X Moteur à courant continu, vis à billes, rouleau croisé, système de mesure linéaire | Phi Servo à courant alternatif, système de mesure d'angle
Excellente stabilité pour des résolutions énormes
Ce système de positionnement X-Phi se compose d'axes standard de haute précision et durables de la platine linéaire PMT160 et, pour la rotation, du DTS130-HM. Il est idéal pour les applications de mesure dans lesquelles l'échantillon est déplacé avec précision dans la position de mesure et ne nécessite donc pas d'axe d'avance supplémentaire.
Des résultats de mesure très précis et fiables
- Idéal pour la mesure optique de pièces rondes, telles que les tranches de silicium, les optiques, etc
- Évite l'achat supplémentaire d'un axe de chargement grâce à des mouvements rotatifs de haute précision avec course
- Haute répétabilité jusqu'à 0,0017
- Déplacement précis de 1,9 µm avec X dans la position de mesure
Configurable en option :
- Déplacements jusqu'à 300 mm
- Plaque de base en granit ou en aluminium
- Disponible avec une échelle interne (270 mm)
- Peut être combiné avec d'autres platines rotatives, par exemple DT200
- Versions pour salle blanche ISO 14644-1 possibles
- Utilisation immédiate avec un contrôleur préconfiguré et un logiciel exemplaire
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