Système de positionnement 3 axes 782300:113.26

XYZlinéairepour l'inspection de Wafer et métrologie

Système XYZ pour laboratoire et inspection de wafers | Vis à billes, moteur à courant continu, rouleau croisé, système de mesure linéaire Système 3 axes de haute précision et modulaire Cette combinaison XY avec unité verticale Z séparée se compose des axes linéaires standard de haute précision et durables du PMT160. Cette combinaison convient à toutes les applications exigeant une planéité parfaite, des tolérances minimales pour le tangage et le lacet, et un fonctionnement sans à-coups. Le système XYZ est prêt à être utilisé avec un contrôleur ainsi qu'un logiciel et fonctionne avec des paramètres fiables. Flexible, instantanément opérationnel et testé - Idéal pour la mise en place et l'extension de votre application - Répétabilité de haute précision jusqu'à 0,5 µm - Pas les plus petits et fiabilité maximale à une vitesse de positionnement comparativement élevée de 50 mm/s - Planéité parfaite de ± 1 pour le positionnement de charges moyennes jusqu'à 150 N Extensible en option : - Différentes courses par axe de 50 à 300 mm - Mouvements rotatifs en combinaison avec DT130 ou DT200 - Différentes variantes de moteurs : Moteur DC, moteur pas à pas, moteur linéaire et nanomotion - Utilisation immédiate avec un contrôleur préconfiguré et un logiciel exemplaire - Versions pour salle blanche ISO 14644-1