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Système de positionnement XYZ 217999
linéairepour l'inspection de Wafer et métrologieà moteur DC

Système de positionnement XYZ - 217999 - Steinmeyer Mechatronik GmbH - linéaire / pour l'inspection de Wafer et métrologie / à moteur DC
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Caractéristiques

Nombre d'axes
XYZ
Type
linéaire
Applications
pour l'inspection de Wafer et métrologie
Autres caractéristiques
à moteur DC, haute résolution, à vis à billes, à roulements à rouleaux croisés
Répétabilité

0,3 mm
(0,01181 in)

Description

Système de mesure XYZ pour charges variables et mobiles | Vis à billes XYZ, rouleau croisé, moteur CC, système de mesure linéaire Mesures de haute précision même avec des charges variables Ce système de positionnement XYZ est spécialement conçu pour les mesures de haute précision de charges variables et d'objets en mouvement. Si des objets de différentes classes de poids doivent être mesurés les uns après les autres, les platines de mesure conventionnelles atteignent rapidement leurs limites. Ce système de mesure XYZ apporte une solution à ce problème. Planéité et rectitude parfaites pour des échantillons jusqu'à 30 kg - Idéal pour les mesures de pièces ou la saisie de profils 3D sur des pièces hautes - Mesures de haute précision indépendantes de la charge de ± 1 µm, même avec des objets en mouvement - Réduction drastique des erreurs de mesure à moins de 5 µrad - Rectitude parfaite à ± 0,5 µm et planéité à ± 1 µm - Interface indépendante de la planéité et possibilités de réglage Configurable en option : - Différentes variantes de moteurs : Moteur à courant continu ou moteur pas à pas - Mouvements rotatifs en combinaison avec DT130 ou DT200 - Configuration spéciale pour la biotechnologie, la technologie médicale, les produits pharmaceutiques, les semi-conducteurs - Versions pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Prêt à l'emploi avec un contrôleur préconfiguré, y compris un logiciel exemplaire

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