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Système de positionnement pour l'inspection de Wafer et métrologie 782430:002.26
XYZlinéairepour salle blanche

système de positionnement pour l'inspection de Wafer et métrologie
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Caractéristiques

Nombre d'axes
XYZ
Type
linéaire
Applications
pour l'inspection de Wafer et métrologie, pour salle blanche
Autres caractéristiques
à moteur DC, à vis à billes, à moteur linéaire, sur rail profilé
Répétabilité

0,3 mm, 0,5 mm
(0,01181 in, 0,01969 in)

Course

100 mm, 820 mm
(3,94 in, 32,28 in)

Vitesse

150 mm/s, 750 mm/s

Description

Ce système d'inspection se compose de quatre axes en salle blanche et permet la mesure automatisée de plusieurs objets simultanément. Il permet d'obtenir une dynamique élevée et une reproductibilité maximale. Une caméra ou un capteur haute résolution est déplacé par rapport à l'échantillon pour inspecter des géométries, effectuer des mesures et documenter des caractéristiques de qualité particulières. Inspection automatisée et à faible maintenance 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7 - Idéal pour l'inspection automatisée des wafers, des cartes de sonde et des cartes de circuits imprimés - Inspection de plusieurs objets simultanément grâce à des courses allant jusqu'à 720 mm - Idéal pour l'intégration de deux processus simultanément - Fonctionnement 24/7 à faible maintenance et concept de maintenance flexible grâce à l'échange rapide du système sur la structure en granit Extensible en option : - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Connexions pour les couvertures d'échappement et de bande tournante - Disponible également comme portail unique - Système de commande prêt à l'emploi avec contrôleur préconfiguré et logiciel d'échantillonnage inclus

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