Platine de haute précision HT160 series

verticalemotoriséecompatible vide

- Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Liquide de lubrification jusqu'à 10E-8 / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Max. Température d'étuvage : 120°C - Disponible en version magnétique - Classe de salle blanche 4 selon ISO 14644-1 Configurable en option : - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Etage de levage précis pour les charges élevées L'étage élévateur convient aux mouvements verticaux de haute précision dans des conditions extrêmes, comme le vide poussé ou l'ultravide. Grâce à son principe d'élévation et de levage, elle atteint ses paramètres malgré sa faible hauteur totale. La combinaison de motoréducteurs et d'une vis à billes précise, avec vis-mère en option, permet d'obtenir des pas très petits pour des charges comparativement élevées. Domaines d'application Positionnement de précision dans l'industrie et la recherche sous ultravide et sous rayonnement ultraviolet extrême, alignement de plaquettes, alignement de caméras, recherche sur les matériaux, analyse des matériaux, microscopie sous vide, ligne de faisceau, accélérateur, synchrotron