Table de positionnement verticale HDT255 series

motoriséede précisionpour forte charge

- Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10-11 mbar - Liquide de lubrification jusqu'à 10-8 / sec jusqu'à 10-11 mbar - Max. Température d'étuvage : 120°C - Salle blanche classe 4 ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Disponible en version magnétique Configurable en option : - Avec ou sans ouverture - Différentes courses - Au choix avec ou sans système de mesure - Versions pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - En option avec contrôleur FMC400/450 Platine de levage précise pour les charges élevées La platine élévatrice avec ouverture est adaptée aux mouvements verticaux de haute précision dans des conditions extrêmes, telles que le vide poussé, l'ultravide et le rayonnement ultraviolet extrême. Grâce à son principe d'élévation à bord, elle atteint ses paramètres malgré une faible hauteur totale de 125 mm. La combinaison d'un moteur pas à pas et d'une vis à billes précise, ou d'une vis coulissante en option, permet d'obtenir des pas très petits pour des charges comparativement élevées. Domaines d'application Domaines d'application Positionnement de précision dans l'industrie et la recherche sous ultravide et sous rayonnement ultraviolet extrême, alignement et inspection de wafers, de cartes de sonde et de cartes de circuits imprimés, analyse de surface, mesure de l'épaisseur de couche, alignement de caméra, recherche sur les matériaux, analyse des matériaux, inspection, microscopie sous vide, ligne de faisceau, accélérateur, synchrotron