- Vide : toutes les gammes HV jusqu'à 10E-8 mbar
- Liquide de lubrification jusqu'à 10E-8 mbar
- Max. Température d'étuvage : 100°C
Configurable en option :
- Disponible en versions magnétique et faiblement magnétique
- Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application
- Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre
- Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande)
- En option avec le contrôleur FMC400/450
Imagerie dynamique et de haute précision
Cette platine rotative compacte et plate permet d'atteindre des résolutions extrêmement élevées dans le vide lors de processus rapides. Grâce à la grande lumière transmise de 79 mm, même les grands échantillons peuvent être positionnés, mesurés et analysés avec précision. Elle peut être combinée dans des systèmes multi-axes sophistiqués et peut être facilement contrôlée par nos contrôleurs FMC 400/450.
Domaines d'application
Microscopie dynamique et de haute précision, par exemple microscope électronique, microscope ionique, microscope électronique à balayage, microscope à effet tunnel, instrumentation de ligne de faisceau, synchrotron, recherche sur les matériaux, analyse des matériaux, inspection des plaquettes, contrôle de la qualité des semi-conducteurs, recherche sur les semi-conducteurs
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