Platine compatible vide LT300 series

linéairemotorisée1 axe

- Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Liquide de lubrification jusqu'à 10E-8 / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Max. Température d'étuvage : 120°C - Salle blanche classe 4 ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Très longue durée de vie, même en cas de fonctionnement à sec Configurable en option : - Disponible avec rupture piézoélectrique - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Stabilité dans la gamme des nanomètres, même avec des charges élevées jusqu'à 10 kg La platine linéaire est conçue pour positionner des charges à haute rigidité dans des conditions extrêmes, comme le vide poussé et l'ultravide. Équipé d'un frein à étrier piézoélectrique, ce système de positionnement atteint une stabilité dans la gamme des nanomètres. Domaines d'application Technologie des semi-conducteurs sous ultravide et sous rayonnement ultraviolet extrême, alignement de plaquettes, inspection de plaquettes, alignement de caméras, alignement de capteurs, inspection de contacts, alignement de miroirs, sondage, chambres à vide, recherche, instrumentation de lignes de faisceaux, assemblage et inspection de composants électroniques, applications de balayage de haute précision