Système de positionnement pour l'inspection de Wafer et métrologie KT470-SM

XYZlinéairepour salle blanche

Ce système d'inspection se compose de l'étage XY KT470 sur une structure en granit et d'une unité verticale Z manuelle. Cette combinaison convient à la conception flexible et modulaire de systèmes de production/processus en ligne pour les salles blanches et peut être complétée en option par des axes Z rotatifs ou motorisés. Idéal pour les processus d'inspection flexibles de wafers jusqu'à 12 pouces / 300 mm Support pour têtes de traitement interchangeables (microscope, capteur, ...) Différentes plages de balayage et réglage manuel de la hauteur (motorisé en option avec un contrôleur de mouvement) Peu d'entretien pour une production 24/7 jusqu'à la classe de salle blanche ISO 6 (supérieure sur demande) Options : Plage de déplacement extensible XY 200 - 350 mm, Z 200 - 400 mm Adaptation au processus : ouverture, porte-échantillon, extension des axes Z supplémentaires (motorisés) Découplage adapté des vibrations au moyen d'une couche intermédiaire en caoutchouc amortissant ou d'amortisseurs pneumatiques Concept et technologie de sécurité (arrêt d'urgence, interrupteur de porte, rideau lumineux, scanner laser, STO, SLS) Conception personnalisée avec cadre, boîtier ou intégration dans l'usine Développement spécifique au client avec conception 3D, prototypes, production en série