KT106/170
Platine d'échantillonnage XY
HV / UV / DUV, ISO 4, Course 136 x 170 mm, Rep 2.9 µm, Charge 5 kg, Vitesse 20 mm/s
- Salle blanche : variantes jusqu'à la classe ISO 4 (supérieure sur demande)
- Vide : toutes les gammes HV jusqu'à 10-7 mbar
- Lubrification : liquide jusqu'à 10-7 mbar
- Lubrification : liquide jusqu'à 10-7 mbar - Température max. Température de cuisson max : 100°C
- Rapport qualité-prix optimisé
Options :
- Possibilité de combinaison avec des plateaux rotatifs (par exemple DT105)
- Version pour salle blanche, laboratoire ou production
- Développement spécifique au client avec conception 3D, prototypes, production en série
- En option avec le contrôleur de mouvement FMC400/450
Domaines d'application
Positionnement pour la technologie des semi-conducteurs, la micro- ou nanofabrication, les spectromètres de masse, les spectromètres photoélectroniques, les applications de laboratoire, la microscopie, la recherche dans le vide poussé, la préparation d'échantillons, le balayage d'échantillons, la manipulation d'échantillons, l'inspection de plaquettes, la recherche sur les matériaux, l'analyse des matériaux
---