Platine de positionnement linéaire KT106/170
électrique1 axede précision

Platine de positionnement linéaire - KT106/170 - Steinmeyer Holding GmbH - électrique / 1 axe / de précision
Platine de positionnement linéaire - KT106/170 - Steinmeyer Holding GmbH - électrique / 1 axe / de précision
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Caractéristiques

Orientation
linéaire
Type
électrique
Nombre d'axes
1 axe
Autres caractéristiques
de précision, industrielle, pour manutention de wafers
Course

136 mm, 170 mm
(5,354 in, 6,693 in)

Vitesse

Min: 10 mm/s

Max: 20 mm/s

Répétabilité

Min: 0,6 µm

Max: 0,9 µm

Charge

Min: 49 kg
(108,03 lb)

Max: 79 kg
(174,17 lb)

Description

KT106/170 Platine d'échantillonnage XY HV / UV / DUV, ISO 4, Course 136 x 170 mm, Rep 2.9 µm, Charge 5 kg, Vitesse 20 mm/s - Salle blanche : variantes jusqu'à la classe ISO 4 (supérieure sur demande) - Vide : toutes les gammes HV jusqu'à 10-7 mbar - Lubrification : liquide jusqu'à 10-7 mbar - Lubrification : liquide jusqu'à 10-7 mbar - Température max. Température de cuisson max : 100°C - Rapport qualité-prix optimisé Options : - Possibilité de combinaison avec des plateaux rotatifs (par exemple DT105) - Version pour salle blanche, laboratoire ou production - Développement spécifique au client avec conception 3D, prototypes, production en série - En option avec le contrôleur de mouvement FMC400/450 Domaines d'application Positionnement pour la technologie des semi-conducteurs, la micro- ou nanofabrication, les spectromètres de masse, les spectromètres photoélectroniques, les applications de laboratoire, la microscopie, la recherche dans le vide poussé, la préparation d'échantillons, le balayage d'échantillons, la manipulation d'échantillons, l'inspection de plaquettes, la recherche sur les matériaux, l'analyse des matériaux

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.