Platine de positionnement linéaire PLT240
électrique1 axede précision

Platine de positionnement linéaire - PLT240 - Steinmeyer Holding GmbH - électrique / 1 axe / de précision
Platine de positionnement linéaire - PLT240 - Steinmeyer Holding GmbH - électrique / 1 axe / de précision
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Caractéristiques

Orientation
linéaire
Type
électrique
Nombre d'axes
1 axe
Autres caractéristiques
de précision, industrielle, pour manutention de wafers, haute charge
Course

Max: 850 mm
(33,465 in)

Min: 200 mm
(7,874 in)

Vitesse

Max: 30 mm/s

Min: 15 mm/s

Répétabilité

Max: 0,5 µm

Min: 0,4 µm

Charge

Max: 101 kg
(222,67 lb)

Min: 20 kg
(44,09 lb)

Description

PLT240 Platine linéaire de précision à charge élevée HV / UV / DUV, ISO 6, course 50 - 850 mm, charge 100 kg, rep 0,4 µm, largeur 240 - Salle blanche : variantes jusqu'à la classe ISO 6 (supérieure sur demande) - Vide : toutes les zones sous vide poussé, liquide de lubrification jusqu'à 10-7 - Température maximale de cuisson : 80°C Température de cuisson : 80°C Options - Vis à tête avec lubrification sèche ou vis à billes avec lubrification liquide - Conception pour salle blanche, vide et faisceau - Conception pour atmosphère d'azote - Développement personnalisé avec conception 3D, prototypes, production en série - En option avec le contrôleur FMC400/450 Domaines d'application Fabrication et manipulation de semi-conducteurs, positionnement DUV à haute charge, positionnement pour applications de scanning, positionnement de transfert, technologie des semi-conducteurs, ultra-vide, chambres à vide, recherche, instrumentation de ligne de faisceaux, assemblage et inspection électroniques

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