PLT240
Platine linéaire de précision à charge élevée
HV / UV / DUV, ISO 6, course 50 - 850 mm, charge 100 kg, rep 0,4 µm, largeur 240
- Salle blanche : variantes jusqu'à la classe ISO 6 (supérieure sur demande)
- Vide : toutes les zones sous vide poussé, liquide de lubrification jusqu'à 10-7
- Température maximale de cuisson : 80°C Température de cuisson : 80°C
Options
- Vis à tête avec lubrification sèche ou vis à billes avec lubrification liquide
- Conception pour salle blanche, vide et faisceau
- Conception pour atmosphère d'azote
- Développement personnalisé avec conception 3D, prototypes, production en série
- En option avec le contrôleur FMC400/450
Domaines d'application
Fabrication et manipulation de semi-conducteurs, positionnement DUV à haute charge, positionnement pour applications de scanning, positionnement de transfert, technologie des semi-conducteurs, ultra-vide, chambres à vide, recherche, instrumentation de ligne de faisceaux, assemblage et inspection électroniques
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