Platine de positionnement linéaire MDT85-PM

piézoélectrique1 axede précision

MDT85-PM Stades et axes linéaires pour le vide et les salles blanches - Salle blanche : variantes jusqu'à la classe ISO 6 (supérieure sur demande) - Vide : toutes les gammes HV / UHV - Faisceau : UV / DUV / EUV - Lubrification : liquide jusqu'à 10-8 / sec jusqu'à 10-11 mbar - Lubrification : liquide jusqu'à 10-8 / sec jusqu'à 10-11 mbar - Température max. Température de cuisson max : 140°C Options : - Avec ou sans ouverture (Ø 25 mm) - Empilable sur un système compact de positionnement à 3 axes - Empilable dans un système de positionnement compact à 3 axes - Magnétisme : magnétique, à faible aimant, sans aimant - Lubrification EUV, sans farine / sans PFAS Lubrification UHV - Développement personnalisé avec conception 3D, prototypes, production en série Domaines d'application Positionnement dans des dimensions réduites dans la salle blanche EUV, par exemple caméra, microscope / capteur (AFM, WLI), mesures par transillumination, positionnement de microscopie, configuration de systèmes multi-axes XYZ peu encombrants, manipulateurs pour l'industrie et la recherche, systèmes de positionnement compacts pour salle blanche, alignement de semi-conducteurs, inspection de faisceaux