Platine de positionnement linéaire MDT85-PMpiézoélectrique1 axede précision
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Caractéristiques
- ***orientation
- linéaire
- Type
- piézoélectrique
- Nombre d'axes
- 1 axe
- Autres caractéristiques
- de précision, industrielle, pour manutention de wafers
- Course
Max: 10 mm
(0,394 in)Min: 1 mm
(0,039 in)- Vitesse
Max: 5 mm/s
Min: 2,5 mm/s
- Répétabilité
Max: 0,3 µm
Min: 0,2 µm
- Charge
Max: 1,5 kg
(3,31 lb)Min: 1,2 kg
(2,65 lb)
Description
MDT85-PM
Stades et axes linéaires pour le vide et les salles blanches
- Salle blanche : variantes jusqu'à la classe ISO 6 (supérieure sur demande)
- Vide : toutes les gammes HV / UHV
- Faisceau : UV / DUV / EUV
- Lubrification : liquide jusqu'à 10-8 / sec jusqu'à 10-11 mbar
- Lubrification : liquide jusqu'à 10-8 / sec jusqu'à 10-11 mbar - Température max. Température de cuisson max : 140°C
Options :
- Avec ou sans ouverture (Ø 25 mm) - Empilable sur un système compact de positionnement à 3 axes
- Empilable dans un système de positionnement compact à 3 axes
- Magnétisme : magnétique, à faible aimant, sans aimant
- Lubrification EUV, sans farine / sans PFAS Lubrification UHV
- Développement personnalisé avec conception 3D, prototypes, production en série
Domaines d'application
Positionnement dans des dimensions réduites dans la salle blanche EUV, par exemple caméra, microscope / capteur (AFM, WLI), mesures par transillumination, positionnement de microscopie, configuration de systèmes multi-axes XYZ peu encombrants, manipulateurs pour l'industrie et la recherche, systèmes de positionnement compacts pour salle blanche, alignement de semi-conducteurs, inspection de faisceaux
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13-14 nov. 2024 Brabanthallen, 's-Hertogenbosch - The Netherland (Pays-Bas)
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.