Platine de positionnement linéaire MT130

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MT130 Platine linéaire miniature EUV 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, course jusqu'à 50 mm, rep 2,3 µm, charge 9 kg, vitesse 40 mm/s - Salle blanche : variantes jusqu'à la classe ISO 5 (supérieure sur demande) - Vide : toutes les gammes HV / UHV - Faisceau : EUV, DUV, UV - Lubrification liquide jusqu'à 10-8 / sèche jusqu'à 10-11 mbar - Température de cuisson max. Température de cuisson max : 120°C Options : - Empilable pour former un système compact de positionnement à 3 axes : MP130-3 - Combinable avec la platine rotative DT130 - Plage de déplacement jusqu'à 80 mm - Système de mesure à haute résolution - Lubrification EUV, lubrification UHV sans farine ni PFAS - Développement personnalisé avec conception 3D, prototypes, production en série Axe linéaire EUV compact avec moteur interne La platine linéaire miniature atteint de très bonnes valeurs de fonctionnement grâce à un roulement à rouleaux croisés sans jeu. L'entraînement est intégré dans le système de positionnement très compact. Le système de positionnement est également équipé d'un frein magnétique permanent. Domaines d'application Positionnement dans des dimensions réduites dans les salles blanches EUV, par exemple caméra, microscope / capteur (AFM, WLI), construction de systèmes multi-axes XYZ peu encombrants, alignement pour l'industrie et la recherche, systèmes de positionnement compacts pour salles blanches, inspection de wafers, alignement de sondes de wafers