Manipulateur électrique 3LT300

sous videde positionnement3 axes

manipulateurs 3 axes à partir de trois LT300 Application : Système de positionnement HV à 3 axes Avantage : extrêmement stable lors de l'atteinte de la position, doublement sec Caractéristiques : Stabilisation avec frein piézoélectrique - Vide : toutes les plages de pression HV / UHV jusqu'à 10-11 - Magnétisme : magnétique - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Température de cuisson max. Température de cuisson max : 120°C Options : - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - En option avec l'unité de contrôle FMC400/450 Données techniques - Plage de déplacement : 10 mm - 100 mm - Précision de répétition : ± 4 µm (unidirectionnel) ± 5 µm (bidirectionnel) - Charge : → 200 N / ↑ 20 N - Charge : → 200 N / ↑ 20 N - Vitesse max. Vitesse : 10 mm/s - Moteur : Moteur piézo - Guide : Roulement à rouleaux croisés, acier inoxydable, hybride - Rétroaction : Système de mesure linéaire, boucle ouverte - Système de mesure de la résolution : 0.001 µm - 0,1 µm