Platine de positionnement linéaire LA97-MT85

piézoélectrique2 axesde précision

Précision verticaleLA97-MT85 Application : Manipulateur polyvalent Avantage : pour la numérisation à haute résolution Caractéristiques : Positionnement à très haute résolution - Vide : toutes les plages de pression HV / UHV jusqu'à 10-11 - Magnétisme : magnétique - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / sec jusqu'à 10E-11 mbar - Température de cuisson : 80°C Température de cuisson : 80°C Options : - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - En option avec l'unité de commande FMC400/450 - Données techniques - Plage de déplacement : 20 mm - 200 mm - Précision de répétition : ± 0,02 µm (unidirectionnel) ± 0,03 µm (bidirectionnel) - Charge : → 200 N / ↑ 20 N - Charge : → 200 N / ↑ 20 N - Vitesse max. Vitesse : 10 mm/s - Moteur : Moteur piézo - Guide : Roulement à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybride, céramique en option - Rétroaction : Système de mesure linéaire - Système de mesure de la résolution : 0.001 µm - 0,1 µm