Platine de positionnement linéaire MT130

électrique1 axeà rouleaux croisés

MT130 Platine linéaire compacte avec moteur interne La platine linéaire miniature offre une rectitude et une planéité excellentes grâce à des roulements à rouleaux. L'entraînement est entièrement logé dans le système de positionnement très compact. - Courses jusqu'à 80 mm dans des espaces de montage réduits (130 x 130 x 43 mm) - Répétabilité jusqu'à 2,3 µm - Facilement empilable dans des systèmes multi-axes compacts Options : - Disponible avec moteur DC ou moteur pas à pas - Unité compacte à 3 axes : MP130-3 - Combinable avec la platine rotative DT130 - Option en acier inoxydable pour une plus grande rigidité - Version pour salle blanche, vide et EUV Domaines d'application Positionnement dans des espaces réduits, par exemple caméra, microscope (AFM, WLI), configuration de systèmes multi-axes XYZ à encombrement minimal, manipulateurs pour l'industrie et la recherche, systèmes de positionnement compacts pour salles blanches, inspection de wafers, alignement de prober de wafers Données techniques : - Course : 50 mm, 80 mm - Répétabilité unidirectionnelle : ± 2,3 µm - Répétabilité bidirectionnelle : ± 4,3 µm - Précision : ± 8,1 µm, ± 9,7 µm - Vitesse de positionnement : 20 mm/s - Accélération max : 0.4 m/s2 - Charge max. Charge Fx : 45 N - Charge max. Charge Fy : 95 N - Charge max. Charge Fz : 95 N