Système de positionnement XYZ 3-Achs-Strahljustage

linéairepiézoélectrique

3-Achs-Strahljustage Système UHV XYZ Application : Applications de numérisation rapide et à haute résolution Avantage : - Positionnement rapide en UHV, même à la verticale Caractéristiques : Résolution exceptionnelle, très mince, avec moteur interne - Vide : toutes les zones HV / UHV jusqu'à 10E-11 mbar - Magnétisme : magnétique | faiblement magnétique | sans aimant - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / sèche jusqu'à 10E-11 mbar - Température de cuisson max : 120°C Options : - Sélection des matériaux et lubrification sous vide adaptée à l'application - Peut être combiné à un système de transfert XYZ (par exemple LA90, LA95, LA170) - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - En option avec contrôleur FMC400/450 - En option avec contrôleur de mouvement FMC400/450 Données techniques : - Course : 5 mm, 10 mm - Répétabilité : - ± 0,2 µm (unidirectionnel) ± 0,3 µm (bidirectionnel) - Charge : → 5 N / ↑ 8,8 N - Vitesse max. Vitesse : 10 mm/s - Moteur : Moteur piézo - Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides, en option entièrement en céramique - Rétroaction : Échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : 0,1 µm, en option jusqu'à 0,005 µm