Platine de positionnement linéaire HT240électrique1 axede précision
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Caractéristiques
- Orientation
- linéaire
- Type
- électrique
- Nombre d'axes
- 1 axe
- Autres caractéristiques
- de précision, aluminium, compatible vide, pour manutention de wafers, à boucle ouverte, à rouleaux croisés
- Course
Max: 25 mm
(0,984 in)Min: 1 mm
(0,039 in)- Vitesse
Max: 3,4 mm/s
Min: 1 mm/s
- Répétabilité
Max: 5 µm
Min: 0,3 µm
- Charge
Max: 44 kg
(97 lb)Min: 0,5 kg
(1,1 lb)
Description
HT240
Etage de levage vertical précis pour charges élevées
Application : Plate-forme de levage à vide
Avantages : rigidité et charge élevées
Caractéristiques : cale avec vis à billes
- Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10-11 mbar
- Lubrification : liquide jusqu'à 10-8 / sèche jusqu'à 10-11 mbar
- Magnétisme : magnétique
- Température max. Température de cuisson : 120°C
Option :
- Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application
- Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre
- En option avec le contrôleur FMC400/450
Données techniques
- Course : - 25 mm
- Reproductibilité : -
± 1,7 µm, ± 0,3 µm (unidirectionnel)
± 2,7 µm, ± 0,5 µm (bidirectionnel)
- Charge : → 440N / ↑ 410 N
- Vitesse max. Vitesse : 3,4 mm/s
- Moteur : Moteur piézo
- Roulement : Rouleau croisé en acier inoxydable, hybride
- Rétroaction : Échelle linéaire
- Résolution de la rétroaction : 1 µm
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Catalogues
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