Platine de positionnement linéaire HDT255

électrique1 axede précision

HDT255 Table élévatrice à grande ouverture de charge Application : plateau élévateur à vide Avantages : - haute rigidité et charge, ouverture Caractéristiques : table à coins avec ouverture - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / sèche jusqu'à 10E-11 mbar - Magnétisme : magnétique - Température max. Température d'étuvage : 120°C Options : - Avec ou sans ouverture - Différentes courses- - Au choix avec ou sans système de mesure - Versions pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - En option avec contrôleur FMC400/450 Données techniques : - Course : 16 mm - Reproductibilité : - ± 2,9 µm, ± 0,7 µm (unidirectionnel) ± 4 µm, ± 1 µm (bidirectionnel) - Charge : 98 N - Vitesse max. Vitesse : 16,6 mm/s - Moteur : Moteur pas à pas - Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides - Rétroaction : Échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : 0.1 µm