Platine de positionnement linéaire HT160

électrique1 axede précision

HT160 Etage de levage vertical précis pour charges élevées Application : étage de levage à vide Avantages : rigidité et charge élevées Caractéristiques : cale avec vis à billes - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Lubrification liquide jusqu'à 10E-8 / sèche jusqu'à 10E-11 mbar - Disponible en version magnétique - Température de cuisson max. Température d'étuvage max : 120°C Options : - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Données techniques : - Course : 16 mm - Reproductibilité : - ± 1 µm, ± 1,7 µm (unidirectionnel) ± 1,7 µm, ± 2 µm (bidirectionnel) - Charge : → 50 N / ↑ 45 N - Vitesse max. Vitesse : 2,2 mm/s - Moteur : Moteur pas à pas - Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides - Rétroaction : Boucle ouverte, échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : aucune ou linéaire