Platine de positionnement linéaire KDT120

piézoélectrique2 axesde précision

KDT120-20 Platine XY haute résolution Application : étage XY sous vide Avantage : rapidité et haute résolution Caractéristiques : paramètres de lacet et de tangage trois fois supérieurs à ceux de la variante avec ouverture - Vide : toutes les plages HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / sèche jusqu'à 10E-11 mbar - Magnétisme : magnétique / faiblement magnétique / sans aimant - Température max. Température d'étuvage max : 120°C Options : - Avec ou sans ouverture - Disponible en version magnétique, faiblement magnétique et sans aimant - Différentes variantes de moteurs : Nanomotion ou moteur piézo - Combinable avec un système de positionnement XYZ (par exemple MT105) - Combinable avec des platines rotatives (par exemple DT105) pour les applications rotatives - En option avec le contrôleur FMC400/450 Données techniques : - Course : 24 mm - Répétabilité : - ± 0,03 µm (unidirectionnel) - ± 0,05 µm (bidirectionnel) - Charge : → 5 N / ↑ 45 N - Vitesse max. Vitesse : - 5 mm/s - Moteur : Moteur piézo - Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides, en option entièrement en céramique - Rétroaction : Échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : 0.005 µm - 0,1µm