Platine de positionnement linéaire KDT300

électrique2 axesde précision

KDT300 Platine xy stable à forte charge Application : étage de transport, étage de balayage pour des charges élevées Avantage : - durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec Caractéristiques : durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 - Lubrification liquide jusqu'à 10E-11 - Ouverture : 80 x 80 mm - Température de cuisson max. Température de cuisson : 120°C Options : - Avec ou sans système de mesure - En option avec contrôleur FMC400/450 - Courses jusqu'à 80 mm pour des charges jusqu'à 10 kg - Au choix avec entraînement par vis à billes ou par vis à billes lubrifiée pour des vitesses plus élevées - Peut être combiné avec des tables rotatives (par exemple DT155) pour des applications rotatives - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Conception pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) Caractéristiques techniques : - Course : 10 mm, 50 mm, 10 mm - Répétabilité : - ± 2,8 µm, ± 0,7 µm, ± 0,4 µm, ± 2,8 µm (unidirectionnel) ± 0,5 µm, ± 4 µm (bidirectionnel) - Charge : → 44 N / ↑ 120 N - Vitesse max. Vitesse : 10 mm/s - Moteur : Moteur pas à pas - Palier : Rouleau croisé en acier inoxydable, hybride - Rétroaction : Boucle ouverte, échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : 0.1 µm