Platine de positionnement linéaire MT105

piézoélectrique1 axede précision

MT105 Application : micro-scène polyvalente Avantage : pour le balayage à haute résolution Caractéristiques : positionnement à très haute résolution - Vide : toutes les gammes de pression HV /UHV jusqu'à 10E-11 mbar - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8mbar / lubrifiant sec jusqu'à 10E-11mbar - Magnétisme : magnétique / faiblement magnétique / sans aimant - Température de cuisson max : 120°C Options : - Disponible en version magnétique, faiblement magnétique et non magnétique - Avec jusqu'à 2 moteurs différents pour le déplacement de charges élevées - Combinable avec le système de positionnement XYZ - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Données techniques : - Course : 100 mm - Répétabilité : - ± 0,4 µm (unidirectionnel) ± 0,5 µm (bidirectionnel) - Charge : → 4 N / ↑ 55 N - Vitesse max. Vitesse : 100 mm/s - Moteur : Moteur piézo - Palier : roulements à rouleaux croisés - Rétroaction : Échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : 0.005 µm - 1 µm