Platine de positionnement linéaire LA95électrique1 axede précision
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Caractéristiques
- Orientation
- linéaire
- Type
- électrique
- Nombre d'axes
- 1 axe
- Autres caractéristiques
- de précision, aluminium, compatible vide, pour manutention de wafers, à boucle ouverte, à rouleaux croisés
- Course
Min: 1 mm
(0,039 in)Max: 185 mm
(7,283 in)- Vitesse
Min: 1 mm/s
Max: 8,4 mm/s
- Répétabilité
Min: 0,4 µm
Max: 5 µm
- Charge
Min: 0,1 kg
(0,22 lb)Max: 4,5 kg
(9,92 lb)
Description
LA95
- Application : étape de transport, étape de numérisation
- Avantages : durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec
- Caractéristiques : vis à billes avec lubrification sèche ou
vis à billes avec lubrification liquide
- Vide : toutes les plages de pression HV / UHV jusqu'à 10E-9 mbar
- Magnétisme : magnétique
- Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / lubrification sèche jusqu'à 10E-11 mbar
- Température de cuisson max : 120°C
Données techniques
- Course : 40mm, 80mm, 185mm
- Répétabilité :
± 1,9 µm, ± 0,4 µm (unidirectionnel)
± 2,9 µm, ± 0,5 µm (bidirectionnel)
- Charge : → 45 N / ↑ 40 N
- Vitesse max. Vitesse : 8,4 mm/s
- Moteur : Moteur pas à pas
- Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides, en option en céramique
- Rétroaction : Echelle linéaire, boucle ouverte
- Résolution de la rétroaction : 0.001 µm - 0,1 µm
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