Platine de positionnement linéaire LA97

piézoélectrique1 axede précision

LA97 Platine linéaire nanométrique Application : balayage Avantage : positionnement nanométrique, également à la verticale Caractéristiques : positionnement avec une résolution extrême et une rigidité maximale peut être équipée de 2 (ou 4) moteurs - Vide : toutes les plages de pression HV / UHV jusqu'à 10E-11 mbar - Magnétisme : magnétique | faiblement magnétique | sans aimant - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / lubrifiant sec jusqu'à 10E-11 mbar - Température de cuisson max : 120°C Options : - Versions magnétiques, faiblement magnétiques et sans aimant disponibles - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Données techniques - Course : 100 mm - 300 mm - Répétabilité : ± 0,015 µm (unidirectionnel) ± 0,02 µm (bidirectionnel) - Charge : → 98 N / ↑ 58 N - Vitesse max. Vitesse : 10 mm/s - Moteur : Moteur piézo - Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides, en option entièrement en céramique - Rétroaction : Échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : ± 0,1 µm