Platine de positionnement linéaire LT300

électrique1 axede précision

LT300 Etage linéaire précis à forte charge Application : Platine de transport, platine de balayage pour charges élevées Avantage : durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec Caractéristiques : vis à billes avec lubrification sèche ou vis à billes avec freins piézoélectriques liquides pour la stabilité nm - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Magnétisme : magnétique - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / sèche jusqu'à 10E-11 mbar - Température de cuisson max : 120°C Options : - Disponible avec rupture piézo - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - En option avec le contrôleur FMC400/450 Données techniques - Course : 50 mm - 100 mm - Répétabilité : ± 2,4 µm, ± 0,4 µm (unidirectionnel) ± 1,9 µm (bidirectionnel) - Charge : → 44 N / ↑ 120 N - Vitesse max. Vitesse : 10 mm/s - Moteur : Moteur pas à pas - Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides - Rétroaction : Échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : ± 0,1 µm