Platine de positionnement linéaire LA170

à moteur linéaire1 axeà rouleaux croisés

LA170 Axe linéaire XYZ précis à forte charge Application : Platine de transport, platine de balayage pour charges élevées Avantage : durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec Caractéristiques : vis sans fin avec lubrification sèche ou vis à billes avec lubrification liquide - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Magnétisme : magnétique - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / sèche jusqu'à 10E-11 mbar - Température de cuisson max : 120°C Options : - Choix des matériaux et lubrification sous vide adaptés à l'application - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Données techniques - Course : 60 mm - 130 mm - Répétabilité : ± 2,8 µm, ± 0,4 µm (unidirectionnel) ± 4 µm, ± 0,5 µm (bidirectionnel) - Charge : → 196 N / ↑ 196 N - Vitesse max. Vitesse : 10 mm/s - Moteur : Moteur pas à pas - Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides - Rétroaction : Échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : ± 0,1 µm