Platine de positionnement linéaire LA80

électrique1 axede précision

LA80 Axe linéaire UHV à grande vitesse Application : étape de transport rapide Avantage : durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec Caractéristiques : entraînement par vis à billes à lubrification sèche - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 mbar - Magnétisme : magnétique - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / sèche jusqu'à 10E-11 mbar - Température de cuisson max : 120°C Options : - En option avec ou sans système de mesure - Sélection des matériaux et lubrification sous vide adaptée à l'application - Peut être combiné à un système de transfert XYZ rapide (par exemple LA90, LA95, LA170) - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur de mouvement FMC400/450 Données techniques - Course : 200mm - 500mm - Répétabilité : ± 3µm, ± 0,3µm (unidirectionnel) ± 4µm, ± 0,5µm (bidirectionnel) - Charge : → 49 N / ↑ 9 N - Vitesse max. Vitesse : 100 mm/s - Moteur : Moteur pas à pas - Palier : Guides à recirculation de billes hybrides en acier inoxydable - Rétroaction : Boucle ouverte, échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : ± 0,5 µm