LA92
Axe linéaire UHV à grande vitesse
Application : Applications de numérisation rapide et à haute résolution
Avantages : Positionnement rapide en UHV, également à la verticale
Caractéristiques : Résolution exceptionnelle, très mince, avec moteur interne
- Vide : toutes les zones HV / UHV jusqu'à 10E-11 mbar
- Magnétisme : magnétique | faiblement magnétique | sans aimant
- Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / sèche jusqu'à 10E-11 mbar
- Température de cuisson max : 120°C
Options :
- Sélection des matériaux et lubrification sous vide adaptée à l'application
- Peut être combiné à un système de transfert XYZ (par exemple LA90, LA95, LA170)
- Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre
- En option avec le contrôleur de mouvement FMC400/450
Données techniques
- Course : 40 mm
- Répétabilité :
± 0,3 µm (unidirectionnel)
± 0,4 µm (bidirectionnel)
- Charge : → 19 N / ↑ 9 N
- Vitesse max. Vitesse : 200 mm/s
- Moteur : Nanomotion
- Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides, en option entièrement en céramique
- Rétroaction : Échelle linéaire
- Résolution de la rétroaction : 0.005 µm - 0,1 µm
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