Platine de positionnement linéaire LA92
à moteur linéaire1 axede précision

platine de positionnement linéaire
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Caractéristiques

Orientation
linéaire
Type
à moteur linéaire
Nombre d'axes
1 axe
Autres caractéristiques
de précision, aluminium, pour microscopes, industrielle, compatible vide, automatique, pour manutention de wafers, à rouleaux croisés
Course

Max: 40 mm
(1,575 in)

Min: 1 mm
(0,039 in)

Vitesse

Max: 200 mm/s

Min: 1 mm/s

Répétabilité

Max: 5 µm

Min: 0,3 µm

Charge

Max: 1,9 kg
(4,19 lb)

Min: 0,9 kg
(1,98 lb)

Description

LA92 Axe linéaire UHV à grande vitesse Application : Applications de numérisation rapide et à haute résolution Avantages : Positionnement rapide en UHV, également à la verticale Caractéristiques : Résolution exceptionnelle, très mince, avec moteur interne - Vide : toutes les zones HV / UHV jusqu'à 10E-11 mbar - Magnétisme : magnétique | faiblement magnétique | sans aimant - Lubrification : liquide jusqu'à 10E-8 / sèche jusqu'à 10E-11 mbar - Température de cuisson max : 120°C Options : - Sélection des matériaux et lubrification sous vide adaptée à l'application - Peut être combiné à un système de transfert XYZ (par exemple LA90, LA95, LA170) - Adaptation individuelle à la situation d'installation dans la chambre - En option avec le contrôleur de mouvement FMC400/450 Données techniques - Course : 40 mm - Répétabilité : ± 0,3 µm (unidirectionnel) ± 0,4 µm (bidirectionnel) - Charge : → 19 N / ↑ 9 N - Vitesse max. Vitesse : 200 mm/s - Moteur : Nanomotion - Palier : roulements à rouleaux croisés en acier inoxydable, hybrides, en option entièrement en céramique - Rétroaction : Échelle linéaire - Résolution de la rétroaction : 0.005 µm - 0,1 µm

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.