Système de positionnement 6 axes 786015:009.26

multi-axehexapodehorizontal

système de positionnement miniature XYZ-Theta-Phi-Delta à 6 axes (salle blanche ISO 5) Personnalisable : - Idéal pour l'inspection automatisée de wafers et d'optiques jusqu'à 300 mm / 12" - Haute répétabilité de ± 2,5 µm ou ± 0,005° - Précision, rigidité et compacité exceptionnelles avec des dimensions de 520 x 600 x 155 mm - Conçu pour une utilisation en 3 équipes jusqu'à la classe de salle blanche ISO 5 Le manipulateur à 6 axes comprend une platine XY pour l'axe horizontal et un trépied pour les courses verticales et deux inclinaisons, ce qui combine les forces des conceptions cinématiques cartésiennes et parallèles en un seul système. Caractéristiques techniques : - Système standard : MT95 (XY) / 3x MT95 (Z, Rx, Ry) - Course : 30 mm (XY) / 20 mm (Z) / 4 mm (Rx, Ry) / n x 360 (Rz) - Répétabilité : ± 1,5 - ± 3,5 µm (XYZ) / 0,0004 - 0,001 µm (Rx, Ry) / 0,05 - 0,1 µm (Rz) - Vitesse de positionnement : 1,1 - 2 mm/s (XYZ) / 0,03 -0,5 mm/s (Rx, Ry) / 100 - 200 mm/s (Rz) - Charge max : 65 N (X, Y, Rx, Ry) / 100 N (Z) / 20 N (Rz) - Moteur : Moteur DC, Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen (X,Y, Rx, Ry) / Schrittmotor, Riemen (Rz) - Feedback : Encodeur de moteur - Longueur x largeur x hauteur : 520 x 600 x 155 mm Options personnalisées : - Testé en fonction de l'application et prêt à être utilisé immédiatement avec un contrôleur de mouvement prêt à l'emploi, y compris le logiciel d'échantillonnage - Version spéciale pour les échantillons jusqu'à 450 mm / 18" - Différentes versions pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Système multi-axes modulaire avec têtes de traitement personnalisées / interchangeables - Divers supports d'échantillons, intégration dans les flux de travail - Développement de solutions individuelles avec conception 3D pour la tâche de positionnement