Système de positionnement XYZ 782327:001.26

triaxiallinéairepour l'inspection de Wafer et métrologie

MP210-3 Système de positionnement XYZ Personnalisable : - Idéal pour les espaces d'installation limités et les températures fluctuantes de 0 à 40°C - Plages de déplacement jusqu'à 25 mm dans un minimum d'espace - Stabilité absolue de la position, même lorsque le moteur est arrêté - Résultats de mesure cohérents grâce à une répétabilité élevée Ce système XYZ permet de positionner un porte-échantillon pour des mesures très stables de la lumière incidente et transmise sur les deux faces. Le chargement et la mise au point sont réalisés par un mouvement vertical d'une course de 25 mm. Caractéristiques techniques : - Système standard : MT63 (XYZ) - Course : 25 mm - Répétabilité : ± 0,8 - ± 3,8 µm (XYZ) - Vitesse de positionnement : 1,8 - 3,6 mm/s (XYZ) - Charge max : 10 N - Moteur : Moteur C.C., - Vis sans fin - Retour d'information : Echelle linéaire - Longueur x largeur x hauteur : 206 x 259 x 137 mm Options personnalisées : - Adaptation au processus : échantillonneur, support, alimentateur, capteur - Configuration pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Conception individuelle avec rack, isolation des vibrations, enceinte - Développement de solutions individuelles avec conception 3D pour la tâche de positionnement