Système de positionnement multiaxe 782300:056.26

2-3 axesautomatiquepour l'industrie des semi-conducteurs

MP53-2-1 Système de positionnement XY-Phi miniature Système Phi-XY avec moteur piézoélectrique Petit manipulateur pour les mouvements xy et la rotation. La course linéaire est de 10 mm et de ± 5 degrés en rotation. Résolution extrêmement élevée de l'ordre du nm grâce aux moteurs piézoélectriques. La rotation est réalisée par une platine linéaire agissant sur un palier rotatif au moyen d'un accouplement flexible. Joint fixe pour l'alignement des pièces Le système à trois axes est destiné à l'alignement de pièces et d'échantillons. Comme de petites trajectoires de quelques millimètres ou degrés suffisent pour de tels mouvements de correction, un mouvement rotatif peut être généré avec une platine linéaire si celle-ci transmet son mouvement à une platine rotative, par ailleurs passive, au moyen d'une articulation à semi-conducteurs. L'avantage d'une telle articulation à semi-conducteurs est qu'elle transfère entièrement la précision de la platine linéaire à la platine rotative. Si la déviation reste inférieure à 5 degrés, la rigidité de cette articulation reste également suffisante pour transmettre des mouvements de l'ordre du nanomètre dans les directions de la traction et de la compression. Caractéristiques techniques : - Système standard : MT53-PM (XYRz) - Course : 10 mm - Répétabilité : ± 0,4 - ± 0,7 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz) - Vitesse de positionnement : 5 - 10 mm/s (XY) / 5 - 20 mm/s (Rz) - Charge max : 5 N - Moteur : Moteur piézo, roulements à rouleaux croisés - - Rétroaction : Echelle linéaire - Longueur x largeur x hauteur : 121 x 85 x 76 mm