MP53-3 Système de positionnement XYZ miniature
Personnalisable :
- Idéal pour les applications compactes
- Résolutions de l'ordre du sous-micromètre
- Capacité de charge jusqu'à 5 N
- Qualité fiable et constante grâce à un positionnement très précis
Le système de positionnement MP53 est un système miniaturisé à trois axes pour les mouvements X, Y et Z avec des courses de 10 mm. L'aligneur est conçu avec des moteurs piézoélectriques et permet des incréments de positionnement allant jusqu'à quelques nanomètres.
Caractéristiques techniques :
- Système standard : MT53
- Course : 10 mm (XYZ)
- Répétabilité : ± 0,2 - ± 0,3 µm (XYZ)
- Vitesse de positionnement : 5 mm/s (XYZ)
- Charge max : 45 N (XY) / 150 N (Z)
- Moteur : Moteur piézo, roulements à rouleaux croisés -
- Rétroaction : Echelle linéaire
Options personnalisées :
- En option, système de mesure à haute résolution pour des précisions de répétition jusqu'à 0,005 µm
- Combinable avec des platines rotatives pour les applications rotatives
- Variantes pour vide jusqu'à 10-11 mbar ou salle blanche ISO 14644-1 classe 6 (jusqu'à classe 1 sur demande)
- Disponible en version magnétique, faiblement magnétique et sans aimant
- Prêt à l'emploi avec un contrôleur de mouvement préconfiguré et un logiciel d'échantillonnage
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