Système de positionnement 3 axes 782459:003.26

automatiquepour l'inspection de Wafer et métrologiepour l'industrie des semi-conducteurs

MP700-3 Aligneur 3D plat Personnalisable : - Idéal pour l'alignement de haute précision de substrats, masques et cadres de grande taille - Convient aux échantillons de grande taille avec une ouverture de 730 x 730 mm - Haute répétabilité jusqu'à 0,4 µm / ± 0,0002° pour des charges allant jusqu'à 28 kg - Conception ultra plate de 990 x 1090 x 225 mm - Peu d'entretien et peu de particules grâce aux paliers à air et à l'entraînement direct Cet aligneur permet de réaliser des mouvements de translation de ± 5 mm dans le plan et une rotation autour de la verticale de ± 3°. Le mouvement R (Phi) est le résultat de la combinaison XY des axes. Spécifications : - Course : ± 5 mm (XY) / ± 3 mm (Rz) - Répétabilité : ± 0,4 - ± 0,7 µm (XY) / ± 0,0002 - ± 0,0003 µm (Rz) - Vitesse de positionnement : 50 - 100 mm/s (XY) / 10 - 20 mm/s (Rz) - Charge max : 5 N (XY) / 100 N (Rz) - Ouverture : 730 x 730 mm - Moteur : Moteur linéaire dynamique sans fer (XYRz) - Guide : Palier à air (XYRz) - Rétroaction : Encodeur linéaire (XYRz) - Länge x Breite x Höhe : 990 x 1090 x 225 mm - Matériau : Aluminium anodisé Options personnalisées : - Adaptation au processus : ouverture, support, alimentation, extension du Z-Motion - Configuration pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Conception individuelle avec rack, isolation des vibrations, enceinte - Développement de solutions individuelles avec conception 3D pour la tâche de positionnement