Système de positionnement XZ 782300:186.26

2 axeslinéairepour l'inspection de Wafer et métrologie

XZ System für Labor- und Waferinspektion (Système XZ pour le travail et la fabrication de plaquettes) Personnalisable : - Idéal pour la mise en place et l'extension de votre application - Répétabilité extrêmement précise jusqu'à 0,4 µm - Pas les plus petits et fiabilité maximale à une vitesse de positionnement comparativement élevée de 50 mm/s - Planéité parfaite de ± 1 pour le positionnement de charges moyennes jusqu'à 5 kg La combinaison XZ se compose des axes linéaires standard de haute précision et durables du PMT160. Cette combinaison convient à toutes les applications exigeant une planéité parfaite, des tolérances de tangage et de lacet minimales et un fonctionnement souple. Caractéristiques techniques : - Composant standard : PMT160-DC (XZ) - Course : 300 mm (X) / 100 mm (Z) - Répétabilité : ± 0,4 - ± 2,2 µm (XZ) - Vitesse de positionnement : 25 mm/s (X) / 1,12 mm/s (Z) - Charge max : 45 N (X) / 150 N (Z) - Moteur : Moteur DC, vis à billes - Rétroaction : Échelle linéaire Options personnalisées : - Différentes courses par axe de 50 à 300 mm - Mouvements de rotation en combinaison avec DT130 ou DT200 - Différentes variantes de moteurs : Moteur à courant continu, moteur pas à pas, moteur linéaire et nanomotion - Utilisation immédiate avec un contrôleur préconfiguré comprenant un logiciel exemplaire - Versions pour salle blanche ISO 14644-1