Système de positionnement XYZ 782300:113.26

linéairepour l'inspection de Wafer et métrologiepour applications de laboratoire

Système XYZ pour l'inspection des laboratoires et des plaquettes de silicium Personnalisable : - Idéal pour la mise en place et l'extension de votre application - Répétabilité très précise jusqu'à 0,5 µm - Pas les plus petits et fiabilité maximale à une vitesse de positionnement comparativement élevée de 50 mm/s - Planéité parfaite de ± 0,5 µm pour le positionnement de charges moyennes jusqu'à 150 N Cette combinaison XY avec unité verticale Z séparée se compose des axes linéaires standard de haute précision et durables du PMT160. Cette combinaison convient à toutes les applications exigeant une planéité parfaite, des tolérances de tangage et de lacet minimales et un fonctionnement régulier. Caractéristiques techniques : - Composant standard : PMT160-DC (XYZ) - Course : 300 mm (X) / 150 mm (Y) / 50 mm (Z) - Répétabilité : ± 0,5 - ± 1,5 µm (XYZ) - Vitesse de positionnement : 25 mm/s (XYZ) - Charge max : 45 N (X) / 150 N (YZ) - Moteur : Moteur DC, vis à billes - Retour d'information : Échelle linéaire Options personnalisées : - Différentes courses par axe de 50 à 300 mm - Mouvements de rotation en combinaison avec DT130 ou DT200 - Différentes variantes de moteurs : Moteur à courant continu, moteur pas à pas, moteur linéaire et nanomotion - Utilisation immédiate avec un contrôleur préconfiguré comprenant un logiciel exemplaire - Versions pour salle blanche ISO 14644-1